SmCo7永磁薄膜的高温磁性能

摘要：

研究了以Mo为衬底在Si(100)基片上沉积SmCo7永磁薄膜的高温磁学性能.结果表明,高温老化处理对薄膜的晶体结构和磁性能没有显著影响.根据趋近饱和定律和薄膜的高温磁化曲线,获得了磁晶各向异性常数K1随温度的变化关系.该关系说明随着温度的增加,SmCo晶粒的取向在一定程度上受到了破坏.此外,薄膜磁性能随温度的变化关系适当,可以满足在微电子机械系统(MEMS)中的应用.

关键词：稀土永磁、SmCo薄膜、高温应用、MEMS

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资助基金：Scientific Research Foundation of CUIT KYTZ201112; Young and Middle-Aged Academic Leaders of Scientific Research Funds of CUIT J201222

在线出版日期：2014-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：2335-2338