0603型钽电容器氧化膜的生长工艺

摘要：

研究0603型钽电容器氧化膜的生长工艺.分别就影响介质膜质量主要工艺参数:形成液类型、形成液浓度、升流密度、恒压时间进行试验,最后进行湿测漏电流,通过比较得出生长氧化膜最好的工艺参数.最后试验得出使用0.2％(体积分数)硝酸溶液以40 mA/g的升流密度恒压5h能够生长质量良好的氧化膜,湿测漏电流非常低,为0.036 μA.

关键词：0603型钽电容器、形成液、形成液浓度、升流密度、恒压时间

所属期刊栏目：42

分类号：TM535(电器)

在线出版日期：2013-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：190-193