TiAlCrFeSiBN多元膜的性能与组织结构研究

摘要：

采用电弧离子镀技术、TC7双相钛合金靶沉积TiAlCrFeSiBN薄膜,研究了这种多元膜的显微硬度、高温氧化性能和组织结构.结果表明:这种多元膜具有优于TiN膜的显微硬度;具有不同于TiN膜的显微组织,其最显著的特征是存在较多细小的钛滴,这些钛滴与膜之间的融合效果很好;膜层上孔隙较少;具有TiN的面心立方结构,与TiN膜相比,具有更加明显的择优取向趋势.

关键词：电弧离子镀、多元膜、显微硬度、高温氧化性能

所属期刊栏目：34

分类号：TG146.2+3(金属学与热处理)

资助基金：广东省教育厅科研项目980012

在线出版日期：2005-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：648-652