氧化铟气敏材料的制备与特性

摘要：

用化学沉淀法合成微细的氧化铟气敏粉体,选用几种稀有贵金属掺杂氧化铟粉体,用D/maxrA X射线衍射仪测定粉体相结构,用RQ-2型气敏特性测试仪测试氧化铟气敏元件的气敏特性,绘制了掺杂后氧化铟粉体对几种气体的灵敏度-温度曲线.结果表明,氧化铟气敏材料电阻值适中,响应恢复快,气体灵敏度高,可对多种气体实行专一检测或同时检测.

关键词：氧化铟、气敏材料、制备、特性

所属期刊栏目：33

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2004-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1093-1095