反应溅射中靶面附近的粒子输运研究

摘要：

列出了各类粒子的产生、输运和它们同靶表面反应的速率方程,并计及高能中性粒子对靶面溅射的剥离速率方程.有关方程耦合后求解溅射速率与气体流量和放电电流的关系.本文强调反应粒子的反应碰撞,论述了从粒子输运出发探讨薄膜生长方法的优点.

关键词：薄膜生长、反应粒子输运、生长速率

所属期刊栏目：32

分类号：TN304.13(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金19874022;广西自然科学基金9912004

在线出版日期：2003-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：99-102