HfOxN1-x涂层的制备、组织及性能研究

摘要：

医用316L不锈钢以其良好的力学性能和耐腐蚀性能及较低的成本,广泛应用于医疗领域.但是,在生物环境中,医用316L不锈钢存在易腐蚀、析出有害离子以及生物相容性差等问题.目前,磁控溅射是主流的物理气相沉积(PVD)表面处理技术之一,其制备的涂层具有结合性能强和致密度高等优点.因此,采用射频磁控溅射技术在316L不锈钢表面成功制备HfOxN1-x涂层并探究涂层中氧(O)含量对HfOxN1-x涂层微观结构、力学性能和电化学性能的影响,并最终评价了涂层的血液相容性.微观结构测试结果表明,涂层中O含量对涂层晶体结构有显著影响,随着O含量的降低,涂层晶体结构由HfO2相转变为Hf2ON2相并最终转变为非晶相.力学性能和电化学性能测试结果表明当涂层中O含量占比(fo)为0.14(HfON-3)时所制备涂层的力学性能及耐腐蚀性能最佳.血液相容性测试结果表明涂层的血液相容性与其表面粗糙度及涂层成分有关.以上研究结果表明HfOxN1-x涂层的性能较316L不锈钢更为优异,具备作为医用植入体表面涂层的应用潜力.

关键词：HfOxN1-x涂层、微观结构、力学性能、耐腐蚀性能、血液相容性

所属期刊栏目：46

分类号：TG178(金属学与热处理)

资助基金：宁夏科技重点研发计划项目;宁夏自然科学基金项目;宁夏高等学校科学技术研究项目;银川能源学院引进人才启动基金项目

在线出版日期：2022-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：1287-1297