溅射偏压对TC17合金涂层生长的影响研究

摘要：

SiC纤维增强钛基复合材料(SiCf/Ti)具有优良的力学性能,是航空领域重要的高温结构材料;高质量的先驱丝(带金属涂层的SiC纤维)是研制复合材料的关键,而这主要受溅射工艺的影响.本文采用磁控溅射法沉积TC17合金涂层,研究了沉积过程中溅射偏压对涂层生长情况的影响规律,通过X射线衍射(XRD)、 俄歇电子(AES)、 扫描电镜(SEM)、 表面轮廓仪和纳米压痕仪分别对涂层的晶体结构、 成分、 微观形貌、 应力、 弹性模量及硬度进行了分析.结果表明溅射偏压对合金涂层应力影响显著,随着负偏压的增大,涂层应力由张应力向压应力转变;由于压应力有利于涂层与纤维的结合,因此在高偏压下涂层与纤维的结合情况较好且生长致密;而偏压对涂层组成物相和弹性模量的影响较小;涂层硬度随负偏压的增大总体呈现增大的趋势.

关键词：溅射偏压、TC17、涂层生长

所属期刊栏目：42

分类号：TB333(工程材料学)

资助基金：国防科技重点实验室基金项目9140C440302150C44002

在线出版日期：2018-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：498-502