集成电路装备验证线标准化现状及工作建议

摘要：

针对国内开展集成电路装备验证线技术研究需求,介绍了集成电路装备行业发展现状,梳理分析集成电路装备领域的国际标准、国家标准和行业标准的制定发布情况,给出集成电路薄膜生长、离子注入、扩散等装备验证标准制修订建议.

关键词：装备验证线、标准适用性、集成电路

分类号：V26-65;TP301.6;R-058

在线出版日期：2023-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40