集成分布式布拉格反射镜的氮化镓基发光二极管研究

摘要：

基于硅基氮化镓晶圆,制备了一种半环波导型发光二极管.采用聚焦离子束技术,在发光二极管两侧端部刻蚀形成高反型GaN层/空气层分布式布拉格反射镜.实验结果表明,该波导型发光二极管具有良好的光电性能,集成的分布式布拉格反射镜显著提高了器件端面的反射率,改变了器件内部的法布里-珀罗振荡,对出射光子进行了有效调控.使用该发光二极管作为光信号源的无线光通信系统实现了 100Kbps的信号传输,验证了器件在可见光通信领域的应用潜力.

关键词：硅基氮化镓、发光二极管、分布式布拉格反射镜、可见光通信

所属期刊栏目：12

分类号：TN911

资助基金：中国博士后科学基金面上项目;南京工程学院科研基金项目

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：160-163