单晶硅切方全自动物流输送及上下料系统设计

摘要：

单晶硅切方是单晶切片前序加工最重要的生产工序,本文论述了一种全自动物流输送及上下料系统的设计,介绍了单晶硅棒在截断、切方、抛光以及打包等多个工序之间,物料与输送设备、物料与上下料系统、物料与机床的转运动作关系,并提出了相应的解决方案.

关键词：单晶硅、物流输送、上下料、机器人地轨、气动控制

所属期刊栏目：12

分类号：TH181

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-58