超高纯氨中痕量水检测方法的研究

摘要：

在电子气体分析中,超纯氨气中的痕量水检测是一个很大的难题.热分解露点法是一种快速、稳定、环保、准确的测定高纯度氨中微量水的方法.由于热分解露点法的测定要求较高,国内尚未有系统的研究单位和文献,因此,本文在此基础上进行了一系列的探讨.该方法检测装置工艺简单,成本低廉,性能稳定,对废气处理环境友好,检测腔不易受到污染,具有良好的工业应用前景.此方法可为超高纯氨气体中的微量水分含量测定提供依据.

关键词：痕量水分、检测方法、超高纯氨

所属期刊栏目：12

分类号：TP216(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点研发计划SQ2020YFF0403984

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：248-251,267