高纯氨生产工艺技术探讨

摘要：

以工业氨为原料,采用多级吸附、低温精馏以及超滤相结合的纯化方法精制高纯超净氨,产品纯度达到99.9999％以上,同时建立与美国蓝氨技术指标相当的企业标准,建立气体杂质、金属杂质的分析方法,形成规模化生产能力,生产的高纯氨满足氮化镓制造工艺的使用要求.

关键词：半导体、高纯氨、生产工艺

所属期刊栏目：12

分类号：O659(分析化学)

资助基金：国家重点研发计划SQ2020YFF0403984

在线出版日期：2023-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：236-239