微机电系统制造工艺综述

摘要：

微机电系统(MEMS)是基于集成电路和微机械加工技术发展起来的机械系统,本文阐述了国内外微机电系统发展的情况,论述了微机电系统制造技术的种类、方法、材料及应用领域,总结了湿法刻蚀、干法深刻蚀、表面微加工三种常用的MEMS加工工艺的原理、加工方法及应用,并基于目前的加工技术与应用现状对MEMS加工工艺的未来进行展望,提出从利用负压技术、刻蚀溶液或刻蚀气体的选择、调整循环速率等方向进行研究,从而改进MEMS加工工艺,实现微机电系统的突破发展.

关键词：MEMS、湿法刻蚀、干法深刻蚀、表面微加工

所属期刊栏目：12

分类号：TH164

在线出版日期：2022-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：71-75