立式氧化炉中气流场的仿真设计与分析

摘要：

为解决立式氧化炉气流场存在的技术难点,提高晶圆氧化膜的厚度均匀性;采用流体力学仿真方法,建立炉体工艺管气流场数学和仿真模型,并分析流速分布规律;针对环形流动造成的炉内流速分布不均的问题,通过在炉顶安装多孔薄板以优化炉体结构并进行仿真分析.仿真结果表明:增设孔板有利于改善炉内同一横截面和竖直方向的气流场均匀性.

关键词：立式氧化炉;仿真模型;气流场;多孔挡板

所属期刊栏目：11

分类号：F239.62(会计)

在线出版日期：2021-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：219-221