10.19335/j.cnki.2095-6649.2020.10.018
高纯氨生产工艺技术探讨
随着绿色能源和半导体的崛起,LED和半导体的使用越来越广泛,导致市场对半导体和LED生产所需的高纯氨气需求增大.通过目前不同的高纯氨生产的工艺进行比较来探讨其优劣势.
半导体、LED、高纯氨、7N、生产工艺
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O471.1(半导体物理学)
2021-06-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
40-41
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10.19335/j.cnki.2095-6649.2020.10.018
半导体、LED、高纯氨、7N、生产工艺
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O471.1(半导体物理学)
2021-06-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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