基于DSP晶圆传输平台自动识别算法的研究

摘要：

针对晶圆传输系统快速、平稳、可靠的特点,设计了一款基于DSP微控制器的晶圆传输平台,提供了一种应用DSP微控制器实现在晶圆传输系统中自动扫描识别的算法.该算法能够有效识别导致晶圆自动传输失败的叠片、跨片和空片现象,完善晶圆自动传输过程中的报警机制.通过在产品中的应用以及详细实验数据的分析,该算法具备有效性及实用性,可在行业内广泛推广使用.

关键词：DSP、晶圆传输平台、自动识别、叠片、跨片

所属期刊栏目：9

分类号：TP368.1(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2019-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-69