硅片线锯废料中硅粉回收的研究

摘要：

采用称重法与激光粒度分析仪分析线锯废料的组份,研究不同情况下水力旋流初步富集、不同溶剂相转移再富集的硅粉回收效果,并用ICP-0ES检测回收硅粉的纯度.结果表明,不同批次的废料硅粉含量在4～6％;在进口压力为0.5MPa、循环4次、固含量为3％的条件下初步富集效果最佳;采用烷烃类有机溶剂(煤油)相转移再富集硅粉,在有机溶剂与硅粉质量比为6:1时,可提纯到99.5％的硅粉.对回收硅粉进行元素测定表明,回收硅粉的金属、B、P等杂质均处于可控范围,硅粉能够直接应用于多晶硅铸锭.

关键词：线锯废料、称重法、水力旋流、相转移、富集

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分类号：TV2;TV1

资助基金：2014年湖南省教育厅科学研究项目14C0534

在线出版日期：2017-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：14-18