半导体生产的CPS构建及调度可行性分析

摘要：

在复杂制造及自动控制领域,半导体生产调度一直是研究的热点.半导体生产制造系统因其特有的复杂性、不确定性、多目标性以及多约束性特征,为优化调度、提高生产性能提出了挑战.信息物理融合系统(Cyber Physical System,CPS)是一种融合计算、通信与控制的新型复杂实时分布式系统,系统中计算过程和物理过程在开放环境下持续交互、深度融合,其特征和功能为离散制造的智能化生产和竞争力的提高提供了有效的思路和途径.本文基于信息融合系统的基本理念,结合其在制造业的应用发展,探讨了针对于半导体生产的CPS构建以及进行调度优化的可行性.

关键词：半导体生产、CPS、生产调度

所属期刊栏目：6

分类号：TP3;TN9

资助基金：国家自然基金委资助的重点项目:复杂生产过程基于数据的优化调度理论与方法61034004;NSFC面上项目:基于多视图能耗模型的能源调配与生产调度协同优化61273046;同济大学"中央高校基本科研业务费专项资金"项目:工业4.0理论、技术的研究与应用

在线出版日期：2017-04-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-48