功率超声波电源频率跟踪系统设计

摘要：

针对压电换能器谐振频率漂移的问题，讨论了一种基于电流有效值、相位差复合反馈的功率超声波电源频率跟踪系统的设计。根据压电换能器的电路模型，分析了电流有效值以及相位差与超声波电源工作频率间的关系；确定利用电流真有效值和相位差双参数进行反馈控制；并讨论了系统各部分的具体设计。实际的频率跟踪实验表明，该频率跟踪系统具有较好的稳定性和精度，跟踪时间最长不超过70ms，频率调整分辨率0.233Hz，满足了压电换能器频率跟踪的要求。

关键词：超声波电源、频率跟踪、直接数字频率合成

分类号：TN7;TD9

资助基金：中国科学院支撑服务国家战略性新兴产业科技行动计划专项项目YDJDBNJ-2012-022

在线出版日期：2015-04-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：59-65