MEMS红外微辐射源的研制及应用

摘要：

结合MEMS工艺研制了一种可用于红外气体传感器的低成本电调制MEMS辐射光源。辐射源主要由Si3N4/SiO2的复合支撑薄膜和铂金发热电极组成。在2～15μm的红外辐射波段，有足够强的辐射强度，可产生相当于黑体300～850K的红外辐射，其辐射效率达到10.9％；辐射源的动态调制频率可达到100Hz，响应时间12.8ms，足以满足红外气体测量对所需红外光源性能的要求。通过将微辐射源用于实际的NDIR气体传感器中，证明辐射源具有稳定的辐射功率，可以完成20ppmCO2和50ppm SO2的探测，并具有8s左右的响应时间。

关键词：MEMS、红外传感、发射率

分类号：TP2;TN2

资助基金：国家自然科学基金60906054;中国高校博士点基金20070246099

在线出版日期：2014-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：30-36