10.12011/1000-6788(2017)03-0782-08
半导体设备预防性维护建模与优化方法研究
半导体生产线造价昂贵,制造工艺复杂.其维护具有维护费用高、维护难度大等特点.为了降低生产系统的整体维护成本,保证整个生产系统的稳定运行,本文通过伽马过程描述设备退化规律,对设备的衰退情况进行分类维护.针对随机退化的生产线提出考虑机会维护的预防性维护建模方法.以总维护费用最小化为目标,建立了维修费用模型,结合更新定理给出了模型求解的方法,对检测周期等参数进行优化分析.并分析了检测成本、间隔时间相互影响关系.仿真结果表明建立的预防性维护模型可行且有效.
费用模型、预防性维护、检测间隔时间、机会维护
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TH17
国家自然科学基金51275093National Nature Science Foundation of China 51275093
2017-05-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共8页
782-789