具有2-空间缓冲模块的多组合设备的优化调度

摘要：

随着半导体晶圆生产加工变得越来越复杂,多组合设备也越来越频繁的被采用.多组合设备的调度关键在于怎么协调好相邻机械手的操作.针对拥有2-空间缓冲模块的单臂多组合设备,同时它的瓶颈设备被假设为处于加工-边界,首先运用面向资源的Petri Net对系统进行建模,然后在分析系统调度特性的基础上提出了此多组合设备的周期时间一定可以达到下界,并给出了有效的调度算法.最后,用实例证明了该调度方法的可操作性.

关键词：多组合设备、调度、面向资源、Petri Net

所属期刊栏目：36

分类号：TP278(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60974098;高等学校博士点学科专项科研基金2009442011002National Natural Science Foundation of China60974098;Research Fund for the Doctoral Program of Higher Education of China2009442011002

在线出版日期：2017-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：2408-2415