多变量工序能力评价

摘要：

首先指出采用多变量工序能力指数评价工艺生产水平的必要性,给出三种不同的多变量工序能力指数定义,分别为直接域比值定义、修改规范域定义和修改工艺域定义,并分析这些多变量工序能力指数.最后用一个实例说明采用多变量工序能力指数比采用单变量工序能力指数评价产品更为可取和全面.

关键词：规范区域、工序区域、工序能力指数、多变量

所属期刊栏目：26

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点实验室基金51439040103DZ0102

在线出版日期：2006-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：129-133