多晶硅铸造过程温度场模拟仿真

摘要：

多晶硅铸锭炉内温度场对多晶硅的熔化和凝固过程有着决定性的影响.根据不同工艺条件对加热炉内的温度场进行数值模拟是加热炉设计的重要部分,其中多晶硅铸锭炉边界条件的确定是一个关键问题.建立了多晶硅铸锭炉内温度场计算的数学模型,提出了一种通过PID控制原理对多晶硅铸锭炉边界条件进行反算的方法,并根据反算的边界条件就特定工艺参数下铸锭炉内温度场进行了数值模拟.研究表明,采用PID控制方法可以满足精度要求,从而基于所确定的边界条件模拟的铸锭炉内温度场结果准确.

关键词：多晶硅锭、凝固、数值模拟、温度场

所属期刊栏目：22

分类号：TP391.9(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2010-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1614-1617