3D ADI-FDTD算法在分析微结构时的数值色散

摘要：

利用三维无条件稳定交替方向隐式有限差分(ADI-FDTD)算法分析射频微机电器件时,为了保证仿真精度和提高计算效率,需要掌握微尺度条件下算法的数值色散特性.利用算法增长矩阵,讨论了多种因素对算法数值色散特性的影响.给出了分析微结构电磁特性时各参数的基本选取原则:空间导数取二阶差分;网格划分的深宽比小于50;取扫描频段内的中高频率点作为计算空间抽样率的参考点;ADI-FDTD算法的时间步长极限为T/2,时间步长的选择应满足时间抽样率与空间抽样率之比小于1.

关键词：ADI-FDTD、数值色散、微结构、射频微系统

所属期刊栏目：21

分类号：TN252(光电子技术、激光技术)

资助基金：北京市自然科学基金资助3083024;教育部新世纪优秀人才支持计划资助NCET-04-0113;北航青年创新基金

在线出版日期：2010-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3889-3893