非晶态Bi3.15 Nd0.85 Ti3 O12薄膜的低波动阻变特性研究

摘要：

基于化学溶液法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了非晶态Bi3.15 Nd0.85 Ti3 O12薄膜,研究了其表面形貌、介电特性和阻变特性.结果表明:非晶态Bi3.15 Nd0.85 Ti3 O12薄膜无明显晶界存在,其P-E和C-V曲线无滞后特征,其I-V曲线展示了双极性阻变行为.高低阻态的导电机制研究表明该双极性阻变行为由氧缺陷导电细丝断开/连接主导.通过与氧缺陷导电细丝主导的晶态Bi3.15 Nd0.85 Ti3 O12薄膜基阻变行为对比,发现非晶态Bi3.15 Nd0.85 Ti3 O12薄膜阻变的波动性较小,这与其无晶界密切相关.该研究可为开发低波动的阻变器件提供一定指导.

关键词：Bi3.15 Nd0.85 Ti3O12薄膜、非晶态、阻变特性、波动性

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分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目11847106,11875229 和 51872251;湖南省自然科学基金项目2018JJ3506;湖南省教育厅一般项目17C1517

在线出版日期：2019-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：55-63