低能量PLD方法沉积的a-C薄膜结构及光学性能研究

摘要：

用低能量脉冲激光沉积（PLD）方法在单晶硅片、石英玻璃片、载玻片等基底材料上分别沉积了一层碳膜.X射线衍射谱证明碳膜为非晶态,喇曼散射实验表明膜无明显类金刚石特征,紫外-可见分光光度计测试结果表明：膜在紫外、可见光区折射率低于石英、玻璃等材料,红外透过率谱显示膜在红外区有宽范围、显著增透作用．

关键词：脉冲激光沉积、a-C

所属期刊栏目：23

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：湖南省教育厅科研项目98B004

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46