钼钨纳米合金膜的制备及其微结构研究

摘要：

利用羰基金属气相沉积方法, 在Al2O3陶瓷基片上, 以Mo(CO)6+W(CO)6为源, 制备了MoW纳米合金晶膜. 采用XRD和SEM技术, 并与相同条件制备的Mo膜比较, 研究了MoW合金晶膜的微结构. 结果表明: 该法制备的薄膜是以纳米粒子状态存在、具有超微结构的多晶膜材料.

关键词：气相沉积、羰基金属、纳米、合金膜

所属期刊栏目：28

分类号：O647.1;O484.5(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：重庆市科委资助项目99-5663

在线出版日期：2003-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：762-765