C原子在金刚石(100)和(111)面的低能沉积

摘要：

利用分子动力学模拟研究了低于室温下低能C原子碰撞金刚石(100)和(111)面的微观过程.模拟中采用Brenner导出的多体参数化势,并采用Langevin分子动力学方法模拟系统的退火过程.结果表明,在100 K温度下,当入射C原子能量降至0.1 eV时,易于在(111)面生长近完美的金刚石单层.对(100)面,需更高的能量形成类金刚石SP3杂化结构.

关键词：低能沉积、分子动力学模拟、碰撞、杂化

所属期刊栏目：31

分类号：O64(物理化学（理论化学）、化学物理学)

在线出版日期：2010-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：107-111