脉冲偏压电弧离子镀CrN薄膜的表面形貌和性能研究

摘要：

采用脉冲偏压电孤离子镀技术沉积了CrN薄膜,并考察了在不同偏压下薄膜的表面形貌、相结构、显微硬度和耐磨性.随着偏压的增加,CrN薄膜表面颗粒运渐变少,表面粗糙度降低,结晶度增大,偏压为-100 V的CrN薄膜具有致密的表面结构,较高的硬度,最佳的抗磨性能.

关键词：CrN、基体偏压、表面形貌、性能

所属期刊栏目：30

分类号：TB43;TGI74.444(工业通用技术与设备)

资助基金：重庆市自然科学基金2006BB4050;西南大学科技基金SWNUF2005001;SWNUB2005001

在线出版日期：2009-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-19