椭偏法研究ZrO2薄膜的宽光谱特性

摘要：

为了获得ZrO2薄膜的光学常数,采用了德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪,测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9玻璃基底上的两个单层ZrO2薄膜样品,得到了ZrO2薄膜在380nm～2300nm宽光谱上的光学常数曲线和薄膜厚度.结果表明:样品1采用Cauchy模型和Tauc-Lorentz模型得到的厚度和光学常数结果一致;对样品2把单层ZrO2薄膜分成三层得到的均方差(MSE)比没有分层的均方差少0.381,分层得到的ZrO2薄膜的厚度的测量值与TFCalc软件的计算值非常接近,同时得到薄膜的折射率曲线.测量结果对ZrO2薄膜的薄膜设计和多层膜的制备有一定参考价值.

关键词：ZrO2薄膜、椭偏仪、薄膜厚度、光学常数

所属期刊栏目：41

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：西南民族大学研究生“创新型科研项目”CX2014SP268

在线出版日期：2015-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：192-196