金刚石薄膜光学透过性能的研究

摘要：

研究了金刚石薄膜的厚度、表面粗糙度及其成分对金刚石薄膜光学透过率的影响,采用AFM观察金刚石膜的表面形貌并测试其表面粗糙度Ra值;用XPS仪测试了金刚石膜成分;用UV-365分光光度仪测试了光学透过率.结果表明:表面粗糙度是影响金刚石薄膜光学透过率的重要因素,其降低一倍,光学透过率增加两倍多.要提高金刚石薄膜的光学透过率,应大力降低表面粗糙度.

关键词：金刚石膜、表面粗糙度、光学透过率

所属期刊栏目：29

分类号：O484.4+1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金69876026

在线出版日期：2004-02-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：548-550