基于小区域跟踪的多晶硅视频检测系统

摘要：

为实时测量多晶硅棒直径,研制了多晶硅棒径在线视频检测系统.该系统采用双相机成像的机器视觉方法实现目标硅棒的监测,采用左中右差分的图像分割技术提取目标,采用基于小区域的质心跟踪算法跟踪目标.系统标定后,可实时测量还原炉内多晶硅棒的直径.实验结果表明:该系统能检测微弱边缘,在直径为8～150 mm的范围内,测量精度高于工业视觉图像测量的要求.

关键词：机器视觉、微弱信号、图像分割、小区域跟踪、系统标定

所属期刊栏目：45

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：四川省应用基础研究项目2008JY0024-1

在线出版日期：2010-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：430-434