脉冲激光沉积 ZnO 薄膜的微结构及发光性能

摘要：

用波长为1 064 nm的Nd-YAG激光器,在氧的活性气氛中,通过激光烧蚀Zn靶在Si(111)衬底上获得ZnO薄膜.用电子显微镜(XRD和FESEM)表征ZnO薄膜的结构和表面形貌,用光致发光谱表征光学性质.实验中观察到紫外光发射和深能级的黄绿光发射.紫外光发射是ZnO薄膜的固有性质,深能级光发射是由于存在氧反位缺陷(OZn).紫外光发射和深能级光发射的强度依赖于薄膜的表面粗糙度.表面粗糙度在nm级范围内的ZnO薄膜可以获得高强度的紫外光.

关键词：氧化锌(ZnO)薄膜、脉冲激光沉积、紫外光致发光、X 射线衍射

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分类号：O462.1(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2004CB619301

在线出版日期：2007-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：709-712