一种应用在半导体行业的评价尾气移除效率的测试方法

摘要：

在半导体行业,选择使用尾气处理设备对CF4、NF3和NH3等半导体工艺制程气体进行燃烧水洗等环保处理.尾气的分解移除效率(DRE)是评价尾气处理性能的关键指标.首次建立了一种测试和计算DRE的检测方法:使用一台傅里叶变换红外光谱仪(FTIR),采用六氟化硫作为示踪气体,分别测试尾气处理设备的进口总流量、出口总流量、进口的尾气浓度以及出口的尾气浓度,根据公式计算得到尾气的分解移除效率,以实时监控和评价尾气处理设备的性能.这对于尾气处理设备行业的测试的标准化意义重大.

关键词：FTIR、尾气处理设备、分解移除效率、测试方法

所属期刊栏目：439

分类号：TQ330;TH39;TH123+.1

在线出版日期：2024-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：38-45