不同工艺参数对TiN薄膜形貌和力学性能的影响

摘要：

随着硬质薄膜的快速发展,TiN薄膜已经在诸多领域成功应用.通过采用PVD多功能离子镀膜机在不同工艺参数条件下制备了 TiN 薄膜,研究不同工艺参数对 TiN 薄膜表面大颗粒形貌和力学性能的影响.利用扫描电子显微镜对TiN薄膜的表面形貌进行研究,利用球坑仪、划痕仪和显微硬度计对薄膜的力学性能进行分析.研究结果表明,弧电流越大,大颗粒尺寸越大,薄膜厚度及硬度也会显著增加;当沉积温度升高时,TiN表面大颗粒的尺寸与数量显著减小,结合强度出现先增加后减小的趋势;当负偏压增大时,TiN薄膜表面大颗粒出现了先减少后增多的趋势,而薄膜的厚度和硬度也会相应降低.该研究为生产中制备性能优良的TiN薄膜提供了一定的理论依据.

关键词：多弧离子镀、TiN薄膜、表面形貌、弧电流、沉积温度、力学性能、负偏压

所属期刊栏目：430

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2023-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：59-65