基于正交试验的石英摆片金丝键合焊接方法

摘要：

为了避免石英摆式加速度计石英镀膜摆片人工焊接带来的个体差异,同时避免手工锡铅焊接助焊剂难清理导致多余物、不绝缘、焊点虚焊等风险,提出采用金丝键合工艺方法,在石英镀膜玻璃上键合金丝,实现石英摆式加速度计电气导通.通过对键合基体材料进行分析,选用热超声球-楔键合工艺方法,分别摸索影响金丝键合强度的关键因素(键合压力、键合时间、超声功率)中每个单因素工艺参数,确定单因素工艺参数的最优取值范围,并对具体参数采用正交试验法开展实验影响分析,快速、高效地确认金丝键合的最优工艺参数.对最优工艺键合参数进行装配验证,并对装配合格产品开展环境温度试验、力学试验、长时间可靠性增长试验等,最终验证金丝键合工艺方法可行.

关键词：金丝键合、镀膜摆片、单因素、正交试验法、键合压力、键合时间、超声功率

所属期刊栏目：430

分类号：TG456.9(焊接、金属切割及金属粘接)

在线出版日期：2023-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46