超快激光直写PDMS微流道的工艺研究

摘要：

采用皮秒激光技术在聚二甲基硅氧烷(PDM S)基片表面制备微流道,分析了扫描速度、加工次数以及激光平均功率对微流道的影响规律,并对工艺参数进行了优化.实验表明:在保证扫描次数不变的情况下,微流道深度和宽度随着扫描速度的增加而减小;当扫描速度为定值时,微流道的深度和宽度会因为扫描次数的增加而增大.同时,测试了填充方式对微流道表面粗糙度的影响.在优化工艺参数的基础上,制备了尺寸精度高、深宽比和表面粗糙度可控的微流道.最后,通过等离子体键合的方式,制备了微流控器件,验证了超快激光直写PDM S微流道的工艺的可靠性.

关键词：皮秒激光、微流道、表面粗糙度、激光刻蚀、等离子键合、PDMS

所属期刊栏目：412

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：广东省重点领域研发计划项目;江门市科技计划项目

在线出版日期：2022-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：23-30