皮秒激光氧化铝陶瓷微孔加工工艺

摘要：

陶瓷基复合材料因其优异的散热性能、绝缘性、热膨胀系数和物理硬度等,适用于大功率电力电子模块、航空航天和军工电子等领域,但由于在传统加工过程中易出现崩边、层间撕裂等缺陷,且无法实现微孔加工,限制了其应用.针对氧化铝陶瓷高质量微孔加工的需求,采用红外皮秒激光作为光源对氧化铝陶瓷进行了打孔试验研究,分析了激光功率、离焦量和扫描速度等工艺参数对微孔锥度、热影响区和重铸层的影响,通过微观图像讨论了激光加工氧化铝陶瓷的作用机理.经过工艺优化,在功率18 W、扫描速度500 m m/s、重复频率100 k H z、正离焦量0.5 m m的加工参数下,获得了直径100μm、厚度0.2 mm、锥度<6°、无表面微裂纹的微孔.

关键词：皮秒激光、微加工、氧化铝陶瓷、工艺参数、锥度、激光加工

所属期刊栏目：411

分类号：O439(光学)

资助基金：广东省重点领域研发计划项目2020B090922004

在线出版日期：2022-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：22-27