激光清洗技术的发展与应用

摘要：

多学科交叉研究是推动科技进步的重要手段.将光学与材料学相结合,改善材料加工工艺,可节约生产成本,获得较大经济效益.利用激光作为能量来源,对金属或非金属材料表面进行清洗,可显著提升清洗质量.基于激光清洗技术具有效率高、成本低、无污染、无损伤和范围广等研究优势,回顾了激光清洗技术的发展历程.从原理上分析了激光清洗的工艺特点,将激光清洗技术分为干式激光清洗、湿式激光清洗和激光等离子体冲击波清洗等3类.总结了激光清洗技术在材料加工、军用装备、文物保护、微电子加工技术和医疗等领域的应用现状,并对激光清洗技术的发展前景进行了展望.

关键词：激光清洗技术、绿色清洗、除积碳、激光脱漆、激光应用、综述

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51605491,51505484

在线出版日期：2019-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

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