军用技术转民用推广目录(续)

摘要：

8数字微纳加工设备”技术领域”高端装备”技术开发单位”中国科学院光电技术研究所”技术概述”数字微纳加工设备是通过数字化控制空间光调制器实现像素级光场自由操控,利用高数值孔径投影物镜生成高分辨力图形,结合高速扫描工件台同步运动,实现大面积、高分辨力,任意微纳图形结构加工.

在线出版日期：2018-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：77-78