光刻胶纳米结构失效现象的光学特性分析?

摘要：

具有纳米结构的光刻胶有着独特的光学特性，其纳米结构参数直接决定其光学特性。通过对光栅脊柱倾斜、粘连和倒伏堆叠这3种结构失效现象建模，利用严格耦合波理论数值，计算了各种失效结构对偏振光的反射率影响。结果表明，脊柱倾斜的纳米光栅对于偏振光反射率最小的波长发生红移；当有粘连时纳米光栅的对偏振光的敏感程度减弱，同时产生衍射级次；倒伏堆叠的纳米光栅产生较强的衍射级次。利用偏振改变与失效形式的关系可以对纳米结构的具体失效形式做出判断，这对于实现微纳结构的无损监测有一定的推动意义。

关键词：微纳加工、结构失效、严格耦合波分析、偏振

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划项目2012CB825804

在线出版日期：2016-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：66-69