基于D MD的全息光刻系统设计

摘要：

设计搭建了一套基于DMD(Digital Micro-mirror Derice)的全息光刻系统，它包括光路和软件部分。在软件设计中，采用MATLAB 语言编制基于博奇编码的计算全息图，以二维灰度光栅为例，对其进行了计算全息的设计和模拟再现，并通过实验再现了二维灰度光栅图案，验证了设计的合理性和可靠性。

关键词：全息光刻、DMD、MATLAB

分类号：TN26(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2016-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：22-23