钢板上沉积锌合金镀层的PVD试验设备研发

摘要：

开发了一种采用物理气相沉积(physical vapor deposition,简称 PVD)技术沉积锌合金镀层的多功能试验设备,该设备集成了磁控溅射、蒸镀及退火功能；同时,描述了其功能、组成及工艺参数,可用于制备新颖的锌合金镀层,对于深化锌合金镀层的性能研究和促进钢板用腐蚀防护镀层新材料的研发具有重要意义。

关键词：锌合金镀层、物理气相沉积、退火、腐蚀防护、试验设备

分类号：TB37(工程材料学)

资助基金：国家“十二五”科技支撑计划资助项目2012BAJ13B03

在线出版日期：2014-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-68,69