ZnS基底沉积类金刚石薄膜研究

摘要：

针对不能直接在红外光学材料ZnS基底上沉积类金钢石薄膜(下述简称DLC膜)的问题,介绍了在红外光学材料ZnS基底上沉积DLC膜的方法,指出了采用在ZnS基底表面镀制DLC膜的方法,来解决在ZnS基底表面上镀制高效增透膜后,其膜层耐磨强度不足以抵抗恶劣环境的缺点;同时,通过膜系优化设计,利用镀制组合膜层的方法来降低其单面反射率,可改善光学系统的成像质量.

关键词：类金刚石薄膜、红外光学、硫化锌、反射率

分类号：TQ596

在线出版日期：2014-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：126-127