玻璃基底透明导电氧化物薄膜生产技术及其应用研究

摘要：

在玻璃基底上制备透明导电氧化物薄膜(简称TCO薄膜)的方法很多,本文主要论述了喷雾热分解法、真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法以及溶胶-凝胶法,并对其在工业化应用中的优缺点进行了分析.对TCO薄膜应用进展情况、磁控溅技术和AZO薄膜的发展应用前景进行了研究和展望.

关键词：玻璃基底、透明导电氧化物薄膜、制备方法、工业化生产

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2014-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：115-118