脉冲磁过滤阴极弧技术制备类金刚石薄膜研究

摘要：

介绍了弯曲电弧磁过滤设备,并利用脉冲磁过滤阴极真空电弧沉积技术,在高速钢基体上制备了DLC膜.对制得的DLC薄膜表面形貌、Raman光谱及纳米硬度和弹性模量等进行了测试.结果表明,脉冲磁过滤阴极电弧法制备的DLC膜具有优良的性能.拉曼光谱分析显示,制得的薄膜为非晶结构,具有明显的sp2和sp3键杂化结构,符合DLC膜的特征,基体负偏压为50 V时,沉积的DLC膜Raman光谱的ID/IG值最小,sp3键含量最高,纳米硬度和弹性模量值达到最高,分别为29.94 GPa和333.9 GPa.

关键词：DLC膜、磁过滤、拉曼分析、偏压

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11075012

在线出版日期：2012-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：70-73