透明导电ITO薄膜的制备及光电特性的研究

摘要：

采用溶胶-凝胶方法以In(NO3)3.4.5H2O和SnCl4.5H2O为前驱物,用提拉法在石英玻璃基体上制备了ITO透明导电薄膜.详细研究了不同掺Sn比例、不同金属离子浓度、不同提拉速度、不同烘烤温度对ITO薄膜光电特性的影响.结果表明,提拉法制备的薄膜在热处理过程中由凝胶状态向结晶态逐渐转变,方电阻随热处理温度的升高而降低;导电率随薄膜厚度的增加呈非线性增加.

关键词：ITO薄膜、溶胶-凝胶法、光电特性

分类号：TQ134.32

在线出版日期：2011-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：74-76