10.3969/j.issn.1003-5311.2011.04.019
双面抛光机气动加载的建模与仿真
双面抛光机广泛用于硅片、蓝宝石、陶瓷、磁性材料、电子器材的表面超光滑无损伤的平整加工.气动加载系统是双面抛光机实现精密抛光非常关键的部分.抛光压力加载精度的高低直接决定了抛光机性能的好坏.本文利用法国AMESim软件对气动加载系统进行建模,通过仿真得出了一组最佳PID参数,满足了系统要求,并使系统性能得到提高.
双面抛光机、气动加载、抛光压力、AMESim
TP391.9(计算技术、计算机技术)
国家自然科学基金资助项目50775207浙江工业大学机械电子重中之重学科开放基金资助项目2009EP017
2011-07-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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