10.3969/j.issn.1003-5311.2009.11.009
高效太阳能电池快速烧结设备的系统与工艺研究
在太阳能电池片的制作过程中,"烧结"是一道很重要的工序,其制作的过程就要用到快速烧结炉.其作用就是把印刷到硅片上的电极在高温下烧结成电池片,最终使电极和硅片本身形成欧姆接触,从而提高电池片的开路电压和填充因子2个关键参数,使电极的接触具有电阻特性,达到生产出高转换效率电池片的目的.故快速烧结炉的结构设计及工艺运行状态的好坏直接影响到电池片的质量,所以好的烧结设备的设计和烧结工艺是密不可分的.本文详述了高效太阳能电池快速烧结设备的部件设置,并对设备进行剖析,说明设计精良的烧结设备是工艺提升的基础.
烧结、欧姆接触、抽风、气流
TN305(半导体技术)
2010-01-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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